製品紹介

クリーンルーム

産業全般における、生産・評価・検査等のプロセスに不可欠なクリーン環境を提供いたします。

【適用】
◆産業分野
・半導体集積回路
・液晶パネル
・プラズマパネル
・マイクロマシンなどの製造工場
◆食品分野
・調理場
・製造ラインなど

高清浄度から簡易クリーンルームまでお客様の目的にあわせたシステムをご提案

大気中の肉眼では確認できない微粒子を除去し、温湿度、圧力、気流などをコントロールし、無塵の清浄な空間を作ります。
塵埃の混入が許されない作業工程において、「空気中の浮遊塵埃が限定された清浄度レベル以下に管理され、必要に応じて温度・湿度等を一定の基準に制御する部屋」です。

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